“Наличие возможности использования одного и того же материала, нашего нового PES, как для фотолитографии, так и для импринтной печати, является очень привлекательной для производителей”, - говорит Лу. “По сути, наш проект является фундаментальным исследованием, но он также обладает и большим промышленным потенциалом. Все это очень интересно”. В настоящее время производители обычно используют бензоциклобутен и полиимид в качестве полимеров для слоев перераспределения благодаря их низкому влагопоглощению, теплостойкости, низкой температуре отверждения, низкому тепловому расширению, низкой диэлектрической постоянной и низкому току утечки. Лу говорит, что PES дает существенные преимущества по сравнению с этими материалами, особенно, в области температуры отверждения и влагопоглощения. PES подвергается отверждению, высушиванию или твердению при 165 градусах Цельсия, что примерно на 35 процентов ниже, чем у двух других материалов. По словам Лу, необходимость подачи меньшего количества тепла может означать непосредственное снижение накладных расходов для производителей. Еще одним преимуществом PES является низкое влагопоглощение, примерно на 0.2 процента ниже, чем у других материалов. Кроме того, PES обладает высокой адгезией к меди, и при необходимости его можно сделать значительно менее хрупким. Все эти свойства делают PES многообещающим кандидатом для применения в перераспределяющем слое и при ультрафиолетовой импринтной литографии. “Результаты показывают, что экономически обосновано использование PES для создания защитного слоя с ультрафиолетовым отверждением как для перераспределительных применений для упаковки электронных устройств, так и для микро/наноимпринтной литографии”, - говорит научный сотрудник из Ренсселер Пей-И Ван, соавтор статьи. По словам Вана, наряду с фотолитографией и наноимпринтной литографией на том же кристалле, PES также обладает потенциалом для применений в области изготовления оптических устройств, плоских индикаторных панелей, биотехнологических устройств, а также микроэлектро-механических систем.
www.newchemistry.ru
|
