 Помимо повышения эксплуатационных характеристик и обеспечения экономии затрат при реализации традиционной технологии фотолитографии, новый материал, который называется полисетным эпоксидным силоксаном (PES), позволит, как считают исследователи, создать менее затратную чиповую наноимпринтную технологию нового поколения.
“Благодаря этому новому материалу производители микросхем смогут исключить несколько этапов из своих производственных и упаковочных технологий, и, соответственно, сократить затраты”, - говорит То-Мин Лу, заслуженный профессор Р. П. Бейкера в области физики Политехнического института Ренсселер, который курировал эту работу. - “PES дешевле, и он более надежен”. Исследование Лу было на этой неделе опубликовано в Journal of Vacuum Science and Technology B. В области фотолитографии широко распространенной является технология с использованием смеси света и химических веществ для создания сложного микро и наноразмерного структурирования на небольших участках кремния. В качестве одного из этапов этой технологии осуществляется нанесение тонкой полимерной пленки (которая называется слоем перераспределения и оказывает решающее влияние на эффективность устройства) на кремниевую подложку, чтобы уменьшить задержку распространения сигнала и защитить микросхему от воздействия самых различных экологических и механических факторов. Новый материал из PES, разработанный совместно группой Лу и Polyset Company, является одной из таких тонких пленок, и он способен обеспечить целый ряд преимуществ по сравнению с имеющимися материалами, которые обычно используются при производстве полупроводников. Кроме того, этот новый материал из PES можно также использовать в качестве тонкой полимерной пленки для ультрафиолетовой наноимпринтной литографии на том же кристалле, технологии, которая еще находится на начальном этапе разработки. По словам Лу, последовательное использование PES при реализации традиционной технологии, и продолжение использования PES при теоретических исследованиях и промышленных испытаниях с постепенным переходом к использованию нового поколения устройств в значительно мере облегчит этот переход.
|
