Способность пропускать кислород пленок с барьерным покрытием SiO2 (ПЭТ и ОПП) 
Источник: E. Finson, J.Felts, Airco Coating Technology, Concord, CA Скорость нанесения покрытия: | Ширина ленты | Скорость | | 0,3 м | 0,3 м/мин | | 0,6 м | ПЭТ – 30 м/мин, ОПП – 15 м/мин | | 1,5 м | ПЭТ – 100 м/мин, ОПП-30 м/мин |
Источник: E. Finson, J.Felts, Airco Coating Technology, Concord, CA Таким образом, достижение максимальной производственной скорости возможно на оборудовании, использующем пленку шириной 1,5 м. Способность пропускать влагу ПЭТ пленки с оксидным барьерным покрытием 
Источник: E. Finson, J.Felts, Airco Coating Technology, Concord, CA Описание процесса нанесения покрытия из оксида кремния методом химического парофазного осаждения усиленного плазмой. Линия для нанесения данного покрытия состоит из валкового оборудования для вакуумного осаждения. Осаждение покрытия методом микроволновой плазмы происходит на неохлажденную поверхность полимерной ленты, которая движется с большой скоростью. Комбинация высокой скорости осаждения и эффективного использования активных ингредиентов позволяет получить довольно высокую скорость производственного процесса. Описание процесса: Энергия микроволн генерирует плазму высокой плотности и расщепляет смесь газов более эффективно. Данный процесс имеет очень высокую скорость осаждения (в среднем более чем 250 А/с) и очень эффективное использование газов. В качестве реакционных газов используются кислород и силан. Состав линии нанесения покрытия: 1) Микроволновый генератор
2) Микроволновый волновод
3) Линейный аппликатор
4) Система подачи реакционных газов
5) Система вакуумной откачки (диффузионный насос, вакуумный насос Рутса, форвакуумный насос)
6) Конвейер для транспортировки полимерной ленты Микроволновый генератор используется как источник энергии. СВЧ-сигналы по микроволновому волноводу подаются на линейный аппликатор в вакуумной камере, в которой происходит нанесение покрытия на полимерную пленку. Смесь реакционных газов состоит из SiH4, кислорода и других дополнительных газов. Полимерная пленка должна быть расположена перпендикулярно потоку газов в камере. Для осуществления реакции нужно осуществлять нагрев камеры, что приводит к началу реакции газов, которые образуют покрытие на поверхности пленки. Процесс осаждения выглядит следующим образом: происходит реакция силана и кислорода, в результате которой получается оксид кремния, который осаждается на пленке.
SiH 4 + O 2 → SiO 2 + 2H 2 Давление в данной камере осаждения: 66,5 Па, температура реакции – 420°С. Одним из преимуществ данного процесса является возможность контроля состава барьерного покрытия, регулируя состав смеси реакционных газов. Таким образом, мы можем контролировать механические и химические свойства покрытия.
| 
