«Возможность использовать один материал – наш новый PES – одновременно в фотолитографии и печати будет очень удобна для производителей», заявил Лу. «По сути наш проект представляет собой фундаментальное исследование, но он также может получить важную роль в промышленности. Это очень интересно». Сегодня производители главным образом используют бензоциклобутен и полиимид в качестве полимеров для создания перераспределяющих слоев, поскольку их характеризует слабое поглощение воды, температурная устойчивость, низкая температура отверждения, низкая диэлектрическая постоянная, а также низкий ток утечки. Лу отметил, что PES предоставляет этим материалам преимущества, особенно в областях, где используются температура отверждения и водопоглощение. PES осуществляет отверждение, высушивание или закаливание при температуре 165 градусов по Цельсию, что примерно на 35 процентов ниже, чем у двух других материалов. Снижение температурной планки прямым образом влечет сокращение накладных расходов для производителей, говорит Лу. Другим преимуществом PES является то, что он поглощает воду со скоростью менее 0.2 процента, меньше других материалов. К тому же, PES хорошо прилипает к меди и при необходимости его с легкостью можно сделать менее хрупким. Все эти аспекты делают PES перспективным кандидатом для использования в областях производства перераспределяющих слоев и УФ печатной литографии. «Результаты показывают, что PES достаточно гибок, чтобы его можно было использовать в создании перераспределяющих слоев для электронной упаковки и микро/нано- печатной литографии», говорит научный сотрудник Rensselaer Пей-И Ванг, соавтор новой работы, недавно опубликованной в журнале Journal of Vacuum Science and Technology B. Помимо фотолитографии и нанопечатной литографии внутри микросхемы PES потенциально можно использовать в других оптических устройствах, плоских экранах, биотехнических устройствах, а также в микроэлектромеханических системах, говорит Ванг. Помимо Лу и Ванга, соавторами работы являются Омкарам Наламасу, профессор материаловедения и инженерии института Rensselaer, который также является техническим директором Applied Materials Inc., расположенной в Санта-Клара, штат Калифорния; Райат Гхошал и Рэм Гхошал из Polyset Co. Inc., Механвилль, штат Нью-Йорк; Чарльз Шапер из Transfer Devices Inc., Санта-Клара, Калифорния; и Эндрю Ли из Applied Materials. www.newchemistry.ru |
